Measuring instruments
Zygo Verifire XPZ：
位相シフト干渉計
Zygo社が長年培った伝統あるフィゾー型干渉計のメインフレームを基本とし高精度なピエゾユニットを取り付けた、位相シフト干渉計です。フィゾー型の特長としては、干渉計内部の光学影響はキャンセルされ、システム品質は原器に依存します。
精度、f値を目的に応じ、その原器を使い分けることで、高精度に面精度の評価することが可能になります。また、専用ソフトのMetroPro?により、位相シフト法にZygo社独自の13バケットアルゴリズムが採用されているので、0.1nm未満の垂直分解能で波面評価をすることが可能です。