Measuring instruments
Zygo Verifire XPZ：
位相シフト干渉計
Zygo社が長年培った伝統あるフィゾー型干渉計のメインフレームを基本とし高精度なピエゾユニットを取り付けた、位相シフト干渉計です。フィゾー型の特長としては、干渉計内部の光学影響はキャンセルされ、システム品質は原器に依存します。
精度、f値を目的に応じ、その原器を使い分けることで、高精度に面精度の評価することが可能になります。また、専用ソフトのMetroPro?により、位相シフト法にZygo社独自の13バケットアルゴリズムが採用されているので、0.1nm未満の垂直分解能で波面評価をすることが可能です。
Zygo Verifire XPZ：
アライメント機構
測定ビームを干渉計内部で分岐したアライメント専用の光学系とカメラを用いて、輝点と十字線という光軸のアライメントができるシステムQFAS（Quick Fringe Acquisition System）を採用しています。大きな特徴としてインターフェースが非常に分かりやすいことで作業者は直感的に操作することが可能となり作業効率と精度が向上が見込めます。
Zygo Verifire XPZ：
連続ズーム
小口径のサンプル測定時にズームアップして測定することが可能になります。スムーズに1～6倍までズームできる連続ズームレンズを採用することで適切な倍率に設定することができます。その他のアパーチャーコンバーター（口径変更用のアクセサリー）を併用することで、対応範囲・応用範囲が広がります。